Опорная пластина токоприемника с покрытием из карбида танталапредставляет собой токоприемник или опорную структуру, покрытую тонким слоемкарбид тантала. Это покрытие может быть сформировано на поверхности токоприемника с помощью таких методов, как физическое осаждение из паровой фазы (PVD) или химическое осаждение из паровой фазы (CVD), что придает токоприемнику превосходные свойствакарбид тантала.
Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей.Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (Токоприемник TaC с графитовым покрытием), а также продление срока службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.
После многих лет развития компания Semicera овладела технологиейССЗ TaCсовместными усилиями отдела исследований и разработок. Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использованияТаС, разница существенная. Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Simicera для выращивания монокристаллов.
Основные характеристики опорных пластин с покрытием из карбида тантала включают в себя:
1. Высокотемпературная стабильность: карбид тантала обладает превосходной высокотемпературной стабильностью, что делает опорную пластину с покрытием подходящей для поддержки в условиях высокотемпературных рабочих сред.
2. Коррозионная стойкость: покрытие из карбида тантала обладает хорошей коррозионной стойкостью, может противостоять химической коррозии и окислению, а также продлевает срок службы основания.
3. Высокая твердость и износостойкость. Высокая твердость покрытия из карбида тантала придает опорной пластине хорошую износостойкость, что подходит для случаев, когда требуется высокая износостойкость.
4. Химическая стабильность. Карбид тантала обладает высокой устойчивостью к различным химическим веществам, благодаря чему опорная пластина с покрытием хорошо работает в некоторых агрессивных средах.
с ТАК и без него
После использования TaC (справа)
Более того, компания SemiceraИзделия с покрытием TaCимеют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению сSiC-покрытия.Лабораторные измерения показали, что нашиTaC-покрытияможет стабильно работать при температуре до 2300 градусов по Цельсию в течение длительного времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
