Опорная пластина с покрытием из карбида тантала

Опорная пластина опорной пластины с покрытием из карбида тантала Рекомендуемое изображение

Краткое описание:

Опорная пластина токоприемника с покрытием из карбида тантала от Semicera предназначена для использования при эпитаксии карбида кремния и выращивании кристаллов. Он обеспечивает стабильную поддержку в условиях высоких температур, агрессивных сред или высокого давления, что важно для этих сложных процессов. Обычно используемый в реакторах высокого давления, печных конструкциях и химическом оборудовании, он обеспечивает производительность и стабильность системы. Инновационная технология нанесения покрытий Semicera гарантирует превосходное качество и надежность для требовательных инженерных применений.

Отправьте нам электронное письмо

Детали продукта

Теги продукта

Опорная пластина токоприемника с покрытием из карбида танталапредставляет собой токоприемник или опорную структуру, покрытую тонким слоемкарбид тантала. Это покрытие может быть сформировано на поверхности токоприемника с помощью таких методов, как физическое осаждение из паровой фазы (PVD) или химическое осаждение из паровой фазы (CVD), что придает токоприемнику превосходные свойствакарбид тантала.

Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей.Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (Токоприемник TaC с графитовым покрытием), а также продление срока службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.

После многих лет развития компания Semicera овладела технологиейССЗ TaCсовместными усилиями отдела исследований и разработок. Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использованияТаС, разница существенная. Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Simicera для выращивания монокристаллов.

Основные характеристики опорных пластин с покрытием из карбида тантала включают в себя:

1. Устойчивость к высоким температурам. Карбид тантала обладает превосходной стабильностью при высоких температурах, что делает опорную пластину с покрытием подходящей для поддержки в высокотемпературных рабочих средах.

2. Коррозионная стойкость: покрытие из карбида тантала обладает хорошей коррозионной стойкостью, может противостоять химической коррозии и окислению, а также продлевает срок службы основания.

3. Высокая твердость и износостойкость. Высокая твердость покрытия из карбида тантала придает опорной пластине хорошую износостойкость, что подходит для случаев, когда требуется высокая износостойкость.

4. Химическая стабильность. Карбид тантала обладает высокой устойчивостью к различным химическим веществам, благодаря чему опорная пластина с покрытием хорошо работает в некоторых агрессивных средах.

Высокоэффективное покрытие из карбида тантала_ повышает эффективность промышленного производства и снижает затраты на техническое обслуживание.

Тактическая часть для выращивания монокристалла

Противоизносное покрытие из карбида тантала_ Защищает оборудование от износа и коррозии Избранное изображение

Графит с кольцом с покрытием TaC

с ТАК и без него

После использования TaC (справа)

Более того, компания SemiceraИзделия с покрытием TaCимеют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению сSiC-покрытия.Лабораторные измерения показали, что нашиTaC-покрытияможет стабильно работать при температуре до 2300 градусов по Цельсию в течение длительного времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов: